关于活佛的转世制度，发端于十二世纪初。公元1193年，藏传佛教噶玛噶举派的创始人都松钦巴(意指圣识三时，三时即过去、现在和将来)大师，临终时口嘱他将转世，后人遵循大师遗言寻找并认定转世灵童，从而开了藏传佛教活佛转世之先河。此后，活佛转世这一新生的宗教制度相续被藏传佛教各宗派所普遍采纳，并在长期的发展过程中，逐步形成了对于活佛转世灵童的寻找、认定、教育等一整套严格而系统的制度。据估计，目前整个藏传佛教活佛的总数可达近万人。 在此值得提出的是，在藏传佛教各宗派中分别产生了不同的各类活佛系统，而且每个活佛系统的称谓各有自己特殊的因缘和象征意义。这里就其中具有代表性的几个活佛系统的称谓作简要剖析。 噶玛巴活佛系统的称谓，是以自己所属宗派的名称命名的，即取自噶玛噶举派的噶玛（ka-rma ）一词。追本溯源，该宗派的名称得自祖寺的寺名，而祖寺的名称来自某一地名。公元1157年，都松钦巴在昌都类乌齐附近的噶玛地方创建一座寺院，随即取名为噶玛拉顶寺(或称噶玛丹萨寺)。他以该寺作为道场，大力宣讲噶举派教法以及自己的佛学观点，遂形成噶举派中最具活力的一支派别，并以噶玛拉顶寺的寺名作为该派的名称。后来噶玛噶举派中产生藏传佛教史上第一位转世活佛，亦以宗派的名称命名；当噶玛噶举派中形成二大活佛系统时，仍然称噶玛巴，即分别称噶玛巴•黑帽系和噶玛巴•红帽系，其中红帽系活佛转世至第十世时被迫中断；而黑帽系活佛一直沿袭下来，至今已转世至第17世，即第17世噶玛巴，现驻锡于西藏自治区楚普寺。总之，噶玛巴活佛是藏传佛教史上历史最悠久、转世最多的一大活佛系统。 垯攋喇嘛、班禅额尔德尼等格鲁派活佛系统的称谓，是历代中央王朝授封的。例如，公元1 578年，第三世垯攋索南嘉措在青海湖畔的印华寺与蒙古土默特部俺答汗会面，互赠尊号。俺答汗赠索南嘉措以圣识一切瓦齐尔达喇垯攋喇嘛。其中瓦齐尔达喇是梵文Vajra-dhra的音译，意为执金刚；垯攋是蒙文音译，意为大海；喇嘛是藏文音译，意为上师。这就是垯攋喇嘛活佛系统称谓的最初由来。公元1653年，清朝顺治帝又授封第五世垯攋喇嘛为西天大善自在佛所领天下释教普通瓦赤喇怛喇垯攋喇嘛。从此垯攋喇嘛这一活佛系统的称谓才被确定下来，成为藏传佛教格鲁派二大活佛系统之一的尊号。 垯攋喇嘛（ta-la-Bla-ma ） 被藏传佛教认定为观世音菩萨的化身，现已转世至第14世垯攋。 班禅额尔德尼( Pan-chen-Aer-Te-ni) 是藏传佛教格鲁派二大活佛系统之一，被认为是无量光佛的化身。公元1645年，蒙古和硕特部固始汗向第四世班禅•罗桑确吉坚赞赠以班禅博克多尊号。尊号中的班字是梵文班知达的缩写，意为通晓五明学的学者；禅字是藏文禅波的缩写，意为大或大师；博克多是蒙语，意为睿知英武的人物。从此班禅成为这一活佛系统的称谓。公元1713年，清朝康熙帝又授封第五世班禅•罗桑益西为班禅额尔德尼。额尔德尼是满文，意为宝。之后，班禅额尔德尼这一称谓被确定下来，当然，有时仍简称班禅。现班禅额尔德尼活佛系统已转世至第11世。其驻锡地为西藏札什伦布寺。
